光刻机和蚀刻机有什么区别?

admin 196 0

谢谢邀请!

光刻机和蚀刻机有什么区别?

这样的答题必须要有专业的人才懂,高端芯片制作工艺光刻和蚀刻机这不是谁都懂的,你也许是专业行家,本人是搞染料化工的,相差十万八千里,那就等于是我问你核潜艇的主要结构,你能回答吗?邀人答题那也要看看邀请对像才行。还连续邀请,这不是强人所难吗?再见!

最近中兴事件作为导火索,引发了国人关于芯片讨论,其中不免涉及到了芯片制造业两大至关重要的技术,蚀刻机和光刻机,作为一个业余爱好者,我为大家分享一下我知道的东西。

什么是光刻机

光刻机作为制造芯片的核心装备之一,因为用途的不同,分为生产芯片的光刻机,用于封装的光刻机,还有LED领域的投影光刻机,目前主要讨论的是用于生产芯片的光刻机,这也是芯片领域,我国最薄弱的环节。

先了解一下光刻中必须要用的东西——光刻胶,简单的来说这种胶状物,只能被光腐蚀,而不能被化学物质腐蚀,制造芯片时讲光刻胶涂在金属表面,然后用光把不需要的地方腐蚀掉,制作出自己需要的图形(电路结构之类的),接下来就该蚀刻机上场了。

什么是蚀刻机

蚀刻分为两类,一类是干刻,一类是湿刻(目前主流),湿刻就是特定的化学溶液与上个部分光刻机制作后的薄膜发生反应,发生反应过后剩下的东西,就是需要的东西了,这个过程有液体接触,所以叫湿刻。

干刻更加高级,目前并没有大规模应用,它是通过等离子电浆去除未覆盖的薄膜。

光刻机 ASML一枝独秀

以前光刻机领域还有佳能尼康制衡ASML,不过随着技术差距越来越多,目前高端光刻机市场被ASML垄断,7nm级别光刻机17年的产量只有12台,一台1.2亿美元,还要提前21个月预订,中国就算排队,也不知道哪年买得到,背地里还有有些国家作怪,目前国产光刻机还处于90nm阶段,任重道远。

五大蚀刻机厂商 中微是其一

目前能生产7nm级别蚀刻机的有应用材料,科林研发,东京威力科创,日立先端,中微半导体五家公司,中微是唯一一家中国企业,并且已经开始向台积电供货,中微也代表着中国顶尖的半导体技术。

中国半导体起步晚,需要走的路还很长,不过中国人最不缺的就是毅力,只有坚持不懈方能厚积薄发。

其实从字面表面意思就能看出来,无论是这两个其中的哪种机器,用在芯片制造上都有很大的帮助,也是芯片制造的主要方式。随着时间的推进,现在的光刻技术出现两种趋势,一个是光刻机,一种是蚀刻机。

那么这两种有什么区别呢?

光刻机是芯片制造行业的主要载体。他的工作原理是在硅片上涂上一层均匀的光刻胶,然后利用紫外线照在上面,其中还包含了编码,把需要刻制的东西编码完成,用光刻技术刻到上面。从而达到保存的效果。光刻机上面是光照部,中间是掩膜版,最后是需要刻制的载体。

光刻机发展至今,目前已经有了很多种形式,但工作原理大同小异,没什么区别。而且国内现在已经有了自主产权,发展前景很不错。

光刻机和蚀刻机有什么区别?-第1张图片-赞晨新材料

蚀刻机与光刻机比起来就有些粗糙了,他是直接把内容刻在载体上,对载体表面进行侵蚀从而达到刻录的目的。目前国内的蚀刻机有两种,干刻和湿刻,但是工作原理都相同,利用离子与电压的结合,达到刻录的目的。

总的来说,两种刻制方式都是主流的形式,如果选择的话完全是根据自己的需求。只能说两种都不会让人失望。

抱歉,评论功能暂时关闭!

请先 登录 再评论,若不是会员请先 注册