光刻胶膜厚与转速关系？

T2*S=常数 厚度的平方乘以转送等于常数. 这是经验公式,适于用标准制程,即基本主转速之前没有高转速干扰. 如果有,需要修正因子,相对复杂,需要实验数据说话. 建议,先根据公式做几个实验,验证一下,来调整你的厚度和标准差. 另外,要强调的是,调厚度不仅仅看转速,要看到pump的时间,喷光阻的时间,喷光租的转速,切断转速等等,很多因素;说起来简单,其实是个技术活!